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概要
MARK3系列是在未改变质量流量控制器所必须的品质特性的条件下*实现成本降低的量产产品。材质和泄漏规格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列*一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据重点关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。
特征
- 搭载热感阀
- 追求成本优势、实现成本降低
规格
| SEC-400MK3 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空气.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-500MK3 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20 SLM ：空气.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(满量程) |
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